1、 传感器：核心的感知部件

1.1、 人形机器人中，感知器件至关重要

传感器是人形机器人中核心的感知部件，可以类比做人的感觉器官。传感器是能 够感应各种非电量（如物理量、化学量、生物量），且按照一定的规律转换成便 于传输和处理的另一种物理量（一般为电量）的测量装置或器件。传感器通常由 敏感元件和转换元件组成，其中敏感元件是指传感器中直接感应被测量的部分， 转换元件是指传感器能将敏感元件的输出转换为适于传输和处理的电信号部分。

1.2、 敏感元件和转换元件是传感器的重要组成部分

传感器由敏感元件、转换元件及转换电路构成。 敏感元件是指传感器中能直接感受（或响应）被测量的部分。在完成非电量到电 量的转换过程中，并非所有的非电量都能利用现有手段直接转换成电量，往往需 要先将其变换为另一种易于变成电量的非电量，然后转换成电量。例如，传感器 中各种类型的弹性元件，常被称为弹性敏感元件。 转换元件是指能将感受到的非电量直接转换成电量的器件或元件。例如，光电池 将光的变换量转换为电动势，应变片将应变转换为电阻等。 转换电路是指将无源型传感器输出的电参数量转换成电量。常用的转换电路有电 桥、放大器、振荡器、阻抗变换器、脉冲调宽电路等，它们将电阻、电容、电感 等电参数转换成电压、电流或频率等电量。

1.3、 传感器的类型多种多样

传感器可以按照输入量、转换原理、输出信号、输入和输出的特征、能量转化方 式、应用范围等多种方式分类。例如，按照输入量，可分为物理量、化学量、生 物量传感器；按照转换原理，可分为结构型、物性型、复合型传感器；按照应用 范围，可分为位置、力、液面、能耗、速度、温度等传感器。

1.4、 常见的传感器类型

1.4.1、电阻应变式传感器

电阻应变式传感器是利用电阻应变片将应变转换为电阻的变化，实现电测非电量 的传感器。传感器由在不同的弹性元件上粘贴电阻应变敏感元件构成，当被测物 理量作用在弹性元件上时，弹性元件的形变引起应变敏感元件的电阻值变化，通 过转换电路将电阻值的变化转换成电量输出，从而反映被测物理量的大小。电阻 应变式传感器是目前在测量力、力矩、压力、加速度、重量等参数中应用最广泛 的传感器之一。 电阻应变片简称应变片，是一种能将试件上的应变变化转换成电阻变化的传感元 件，其转换原理是基于金属电阻丝的电阻应变效应。所谓电阻应变效应是指金属 导体（电阻丝）的电阻值随变形（伸长或缩短）而发生改变的一种物理现象。

电阻应变片主要分为电阻丝式应变片、箔式应变片、半导体式应变片三类。 电阻丝式应变片的敏感元件是丝栅状的金属丝。电阻丝是应变片受力后引起电阻 值变化的关键部件，它是一根具有很高电阻率的金属细丝，直径约为 0.01～ 0.05mm。由于电阻丝很细，故要求电阻丝材料具有电阻温度系数小、温度稳定 性良好、电阻率大等特性。 箔式应变片的工作原理和结构与丝式应变片基本相同，但制造方法不同。它采用 光刻法代替丝式应变片的绕线工艺。相较于丝式应变片，箔式应变片允许电流大、 柔性好、疲劳寿命长、在大批生产时电阻值离散度小、生产效率更高。 半导体式应变片以半导体单晶硅条作敏感元件。半导体式应变片的工作原理是基 于半导体材料的压阻效应。半导体应变片具有灵敏度高、频率响应范围宽、体积 小、横向效应小等特点，这使其拥有很宽的应用范围。但同时它也具有温度系数 大、灵敏度离散大以及在较大变形下非线性比较严重等缺点。

1.4.2、电容式传感器

电容式传感器是将被测非电量的变化转换为电容量变化的一种传感器。它具有结 构简单、动态响应快、易于实现非接触测量等突出优点，能够在高温、辐射和强 烈振动等恶劣条件下工作。电容式传感器广泛应用于压力、压差、液位、振动、 位移、加速度、成分含量等物理量的测量中。

常见的电容式传感器可以应用在压力、加速度等的感知上。

电容式压力传感器实质上是位移传感器，当被测压力或压力差作用于膜片并产生 位移时，所形成的两个电容器中一个电容量增大、另一个减小。该电容量的变化 经测量电路转换成与压力或压力差相对应的电流或电压的变化，从而实现了对压 力或压力差的测量。 电容式加速度传感器同样是对位移的感知，当传感器壳体随被测对象沿垂直方向 做加速运动时，质量块由于惯性作用，相对于壳体做相反方向的运动，从而产生 正比于加速度的位移变化。此位移使两个固定极板与两个动极板间的间隙发生变 化：一个增加，另一个减小，从而使上下两个电容产生大小相等、符号相反的变 化。通过一定的测量电路，便可以测量出该加速度的大小。

1.4.3、电感式传感器

电感式传感器是利用电磁感应原理，将被测的物理量如位移、压力、流量、振动 等转换成线圈的自感系数 L 或互感系数 M 的变化，再由测量电路转换为电压或 电流的变化量输出，实现由非电量到电量转换的装置。电感式传感器具有结构简 单，工作可靠，测量力小，分辨率高，输出功率大以及测试精度好等优点。但同 时它也具有频率响应较低，不宜用于快速动态测量等缺点。 电感式传感器主要由衔铁、铁芯、线圈三部分构成。传感器测量物理量时衔铁的 运动部分产生位移，导致线圈的电感值发生变化。

1.4.4、压电式传感器

压电式传感器是利用某些物质的压电效应制作的传感器。某些介质材料在受力作 用下，其表面会有电荷产生。根据这种现象制成的压电式传感器，是一种有源的 双向机电传感器，具有体积小、质量小、工作频带宽等特点。压电元件是一种典 型的力敏元件，能测量最终可变换为力的各种物理量，如压力、加速度、机械冲 击和振动等。因此，在声学、力学、医学和宇航等许多部门都可见到压电式传感 器的应用。 压电材料可以分为三大类：压电晶体（包括石英晶体和其他单晶体材料等）、压 电陶瓷、新型压电材料（如压电半导体、有机高分子材料等）。

1.4.5、压阻式传感器

压阻式传感器是利用固体的压阻效应制成的传感器。固体受到力的作用后，其电 阻率（或电阻）就要发生变化，这种现象称为压阻效应。所有的固体材料都有这 个特点，其中以半导体材料最为显著。当半导体材料在某一方向上承受应力时， 它的电阻率发生显著变化，这种现象称为半导体压阻效应。 压阻式传感器主要用于压力、加速度和载荷等参数的测量，因此分别有压阻式压 力传感器、压阻式加速度传感器和压阻式载荷传感器等。压阻式传感器又分为两 种类型：一类为粘贴型压阻式传感器，它的传感元件是用半导体材料电阻制成的 粘贴式应变片；另一类为扩散型压阻式传感器，它的传感元件是利用集成电路工 艺，在半导体材料的基片上制成的扩散电阻。

1.4.6、MEMS 传感器

MEMS（Micro-Electro-Mechanical System），即微型机电系统，由尺度上是 微米量级的结构件、可动件、电子元器件及其组合组成。该系统把电子功能、机 械功能、光学功能、智能功能和其他功能融合形成一体。 MEMS 传感器中的核心元件一般包含两类：一个传感器和一个信号传输单元。与 传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于 批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时，在微米量级的特征尺寸使得 它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。

2、 力传感器：精细感知的重要依靠

2.1、 应变式力传感器应用最广

力/力矩传感器是一种能感知力、力矩并转换成可用输出信号的传感器。主要包 括本体单元和应变/形变检测系统两部分。力/力矩传感器的核心原理是将力作用 下的形变转换成电信号。当有力/力矩作用时，力/力矩施加于传感器本体单元上， 并引起本体单元的应变或形变，检测系统可感知本体的应变或形变，通过电路将 其转化为相应电压，通过测量电压值来表征力/力矩大小，并转换成可用输出信 号，实现力/力矩的测量。

按照测量原理，力/力矩传感器可以分为光电式、应变式、电容式、压电式等多 种类型。这其中，应变式力/力矩传感器是当前技术最为成熟、应用最广泛的传 感器类型，具有结构简单、制作容易、价格低廉等优点。

2.2、 六维力传感器壁垒最高

按照测量维度，力/力矩传感器可以分为一至六维力/力矩传感器。一般传感器能 测几个维度，就是几维传感器。一维、三维和六维力/力矩传感器最常见。对于六维力/力矩传感器而言，空间中任意方向的力 F，其作用点 P 不与传感器标定 参考点重合且随机变化，这种情况下就需要选用六维力/力矩传感器来完成测量 任务，同时测量 Fx、Fy、Fz、Mx、My、Mz 六个分量。六维力/力矩传感器的内 部算法，会解耦各方向力和力矩间的干扰，使力的测量更为精准。这类传感器更 适用于参考点的距离较远，且随机变化情景，测量精度要求较高。

六维力传感器在机器人中有广阔应用空间。在机器人应用领域，六维力/力矩传 感器是机器人实现柔顺化、智能化控制的重要组成部件，为机器人的力控制和运 动控制提供了力信息，从而对完成一些复杂、精细的作业，实现机器人智能化起 着重要作用。

2.3、 市场空间广阔，六维力传感器加速增长

力矩传感器当前的全球市场规模超过 500 亿元。根据 Research and Markets 的 数据，2022 年，全球市场力矩传感器销售规模为 75 亿美元，预计 2023 年全球 市场力矩传感器销售规模为 80.6 亿美元，2030 年将达到 134 亿美元，2023-2030 年的 CAGR 为 7.5%。

六维力/力矩传感器步入加速增长期。根据 GGII 数据，2022 年中国市场六维力/ 力矩传感器销量 8360 套，同比增长 58%，其中机器人行业销量 4840 套，同比 增长 63%。GGII 预计，到 2027 年中国市场六维力/力矩传感器销量有望突破 8.4 万套，2022-2027 年的 CAGR 超过 60%，其中机器人行业销量有望突破 4.2 万 套。根据 GGII 数据，2022 年中国六维力/力矩传感器市场规模 2.39 亿元，同比 增长 52%，其中机器人行业六维力/力矩传感器市场规模 1.56 亿元，同比增长 54%。GGII 预计，2027 年中国六维力/力矩传感器市场规模将超过 15 亿元， 2022-2027 年的 CAGR 超过 45%。

2.4、 设计、标定与算法筑起壁垒

结构设计、标定与检测、算法设计是六维力/力矩传感器领域的三大壁垒。 结构设计：兼顾高灵敏度、高动态性能和低维间耦合的原理和结构创新是当前电 阻应变式多维力传感器研制中面临的一大挑战。高灵敏度要求应变测量区域的刚 度尽可能小而易于产生应变，而高动态性能则通常要求整个结构的刚度尽可能 大。此外，结构上的连续性导致弹性体各区域之间在受外载荷时不可避免地会产 生耦合变形（应变），进而可能导致耦合输出。因此，对于六维力/力矩传感器 而言，结构设计至关重要。

标定与检测：标定指通过对样本空间中的样本点进行精确加载，建立传感器信号 与力和力矩的映射关系，获得解耦算法的数学模型和参数。六维力/力矩传感器 需要对六维样本空间进行标定，难度远高于一维传感器。主要体现在样本空间更 大、标定设备更复杂、数学模型理论基础更深三个方面。

算法设计：六维力传感器的内部算法，会解耦各方向力和力矩间的干扰，使力的 测量更为精准。高精准度的军用六维力传感器，可以确保在六维度联合承载的情 况下，测量值偏差在量程的 0.3%FS 以内。

2.5、 国外企业具有先发优势，中国公司加速追赶

在竞争格局上，受益于机器人市场需求催化，中国六维力/力矩传感器市场近年 来入局者逐年增加，坤维科技、鑫精诚、宇立仪器、蓝点触控等国内企业先后进 入该领域，并在机器人、汽车、3C 等应用领域上占据了一席之地。ATI、SCHUNK 等海外企业作为全球龙头，积累多年，仍旧有明显的领先优势。

3、 触觉传感器：与环境交互的必需媒介

3.1、 触觉传感器可以让机器人拥有类人触觉

触觉是机器人获取环境信息的一种与视觉同样重要的知觉形式，是机器人实现与 环境直接作用的必需媒介。与视觉不同，触觉本身有很强的敏感能力，可直接测 量对象和环境的多种性质特征，因此触觉不仅仅是视觉的一种补充，触觉的主要 任务是为获取对象与环境信息和为完成某种作业任务而对机器人与对象、环境相 互作用时的一系列物理特征量进行检测或感知。 机器人触觉与视觉一样，基本上是模拟人的感觉。广义上，它包括接触觉、压觉、 力觉、滑觉、冷热觉等与接触有关的感觉；狭义上它是机械手与对象接触面上的 力感觉。触觉是接触、冲击、压迫等机械刺激感觉的综合，触觉可以用来进行机 器人抓取，利用触觉可进一步感知物体的形状、软硬等物理性质。对机器人触觉 的研究，集中于扩展机器人能力所必需的触觉功能，一般把检测感知与外部直接 接触而产生的接触觉、压力、触觉及接近觉的传感器称为机器人触觉传感器。

3.2、 触觉传感器具有多种形式

3.2.1、柔性触觉传感器

柔性传感器具有获取物体表面形状二维信息的潜在能力，是采用柔性聚氨基甲酸 酯泡沫材料的传感器。这种传感器结构跟物体周围的轮廓相吻合，泡沫材料用硅 橡胶薄层覆盖，当移除物体时，传感器恢复到最初形状。导电橡胶应变计连到薄 层内表面，当拉紧或压缩应变计时薄层的形变被记录下来。

3.2.2、触觉传感器阵列

成像触觉传感器由若干个感知单元组成阵列型结构，主要用于感知目标物体的形 状。传感器由 64 个感知单元组成 8×8 的阵列，形成接触界面。当弹性材料制 作的触头受到法向压力作用时，触杆下伸，挡住发光二极管射向光敏二极管的部 分光，于是光敏二极管输出随压力大小变化的电信号。阵列中感知单元的输出电 流由多路模拟开关选通检测，经过 A/D 转换变为不同的触觉数字信号，从而感 知目标物体的形状。

3.2.3、仿生皮肤

仿生皮肤是集触觉、压觉、滑觉和热觉传感器于一体的多功能复合传感器，具有 类似于人体皮肤的多种感觉功能。仿生皮肤采用具有压电效应和热释电效应的 PVDF 敏感材料，具有温度范围宽、体电阻高、质量小、柔顺性好、机械强度高 和频率响应宽等特点，容易热成形加工成薄膜、细管或微粒。

3.3、 空间广阔，高速增长

柔性触觉传感器当前的全球市场规模超 100 亿元。根据 QY Research 的数据， 2022 年，全球柔性触觉传感器销售规模为 15.34 亿美元，预计 2029 年全球柔 性触觉传感器销售规模为 53.22 亿美元，2022-2030 年的 CAGR 为 17.9%。

3.4、 材料、算法筑起壁垒

稳定性、选择性和灵敏度是用于评估传感器性能的主要指标。由于柔性传感器中 使用的材料、制造技术和传感机制的原因，即使不涉及机械变形，它们的性能也 常常低于刚性传感器，因此，需要在材料、算法上多方发力，才可以生产出性能 优异、成本可控的柔性触觉传感器。 材料：为了保证精度，触觉感知设备的基底材料往往需要具备一定柔性，除此以 外，基底材料同时需保持很高的耐久性，例如工业用途的柔性触觉传感器需要具 备百万级以上的耐久度。算法：利用深度学习算法对触觉传感器进行标定，能够 有效提升触觉传感器标定的灵敏度和精确度。

3.5、 海外企业仍然占据领先地位

在柔性触觉传感器领域，海外企业仍然占据领先地位。根据 QY Research 的数 据，按照销售金额计，2022 年，全球前五大厂商（Novasentis、Tekscan, Inc.、 Japan Display Inc.、Baumer Group、Fraba Group）占有大约 57.1%的市场 份额。 具体到高端阵列式触觉传感器产品，国外企业的领先优势更大。同时，进口阵列 式触觉传感器价格昂贵，不适宜进行大面积部署，进一步阻碍了触觉传感相关产 品的研发和推广。

4、 IMU：姿态控制的重要组成

4.1、 IMU 可以测量物理的加速度和角速度

惯性测量单元（Inertial Measurement Unit，IMU）是一种电子装置，它使用一 个或多个加速度计、陀螺仪的组合测量物体的加速度和角速度。加速度计检测物 体在载体坐标系统独立三轴的加速度信号，陀螺仪检测载体相对于导航坐标系的 角速度信号，从而测量物体在三维空间中的角速度和加速度，并以此解算出物体 的姿态。典型的 IMU 配置包括三轴加速度计和三轴陀螺仪。

4.2、 陀螺仪和加速度计是重要的构成

4.2.1、陀螺仪：测量角速度

陀螺仪的作用是测量角速度。目前，市场上大量使用的陀螺仪主要包括激光陀螺 仪、光纤陀螺仪和 MEMS 陀螺仪。其中，MEMS 陀螺仪具有小型化、高集成、 低成本的优势。

根据陀螺仪的核心性能参数情况，一般将陀螺仪分为战略级、导航级、战术级、 消费级。核心的评价指标主要有零偏稳定性、零偏重复性、标度因数精度、角度 随机游走。

4.2.2、加速度计：测量加速度

加速度计的作用是测量加速度，通常由质量块、阻尼器、弹性元件、敏感元件和 适调电路等部分组成。根据加速度计的核心性能参数情况，一般将加速度计分为 战略级、导航级、战术级、消费级。核心的评价指标主要有零偏稳定性、零偏重 复性、线速度随机游走、标度因数精度。

4.3、 IMU 的市场空间广阔

MEMS 惯性传感器当前的全球市场规模超 200 亿元。根据 Yole Intelligence 的 数据，2021 年世界 MEMS 惯性传感器市场规模约 35.09 亿美元。其中，2021 年 MEMS 陀螺仪和 MEMS 加速度计市场规模达到 15.93 亿美元，占全球 MEMS 惯性传感器行业总市场规模的 45.40%。

4.4、 海外龙头仍然占据主导地位

国外 MEMS 惯性技术经二十多年的理论与实践，技术相对成熟，众多科研单位 及公司如 Honeywell、ADI、Sensonor、Silicon Sensing、Colibrys 等公司已 经有成熟的商业化应用。

5、 视觉传感器：获取环境信息的重要途径

5.1、 机器视觉进一步强化机器人感知能力

人的视觉是获取外界信息的主要的感觉行为。据统计，人所获得外界信息的 80% 是靠视觉得到的，因此，视觉传感器是仿生传感器中非常重要的部分。视觉传感 器的工作过程可分为检测、分析、描绘和识别四个主要步骤：视觉检测主要利用 图像信号输入设备，将视觉信息转换成电信号；视觉图像分析是把摄取到的所有 信号去掉杂波及无价值像素，重新把有价值的像素按线段或区域等排列成有像素 集合；视觉描绘和识别是从物体图像中提取特征，给予标志。 机器视觉可以进一步强化人形机器人的感知能力。目前 2D 视觉正在向 3D 视觉 进行延伸。随着智能制造的不断深入，面对复杂的物件辨识和尺寸量度任务，以 及人机互动所需要的复杂互动，2D 视觉在精度和距离测量方面均出现部分技术 局限，市场对 3D 视觉的需求开始与日俱增。在人形机器人应用领域，3D 视觉 传感器可以帮助机器人高效完成人脸识别、距离感知、避障、导航等功能，使其 更加智能化。

5.2、 机器视觉的市场空间广阔

机器视觉当前的全球市场规模在 800 亿元左右。GGII 数据显示，2021 年全球机 器视觉市场规模约为 804 亿元，同比增长 12%，GGII 预计至 2025 年该市场规 模将超过 1200 亿元。2022-2025 年 CAGR 约为 12%。GGII 数据显示，2021 年 中国机器视觉市场规模 138 亿元（该数据未包含自动化集成设备规模），同比 增长 47%。其中，2D 视觉市场规模约为 127 亿元，3D 视觉市场约为 12 亿元。 根据 GGII 预测，到 2025 年我国机器视觉市场规模将达到 469 亿元，其中 2D 视觉市场规模将超过 360 亿元，3D 视觉市场规模将超过 100 亿元。

5.3、 内外资品牌分庭抗礼

从国内机器视觉整体市场来看，内外资品牌的竞争已开始呈现分庭抗礼的局面。 甚至在某些产业链环节，国产的份额已领先于外资。如镜头、光源领域，国产代 表厂商 OPT、东莞 RESS、长步道等；相机领域，国产代表厂商海康机器人、华睿科技、大恒图像等。从内外资品牌份额来看，根据 GGII 数据显示，2021 年国 产品牌机器视觉市场份额占比 58%，进口替代进程开始提速。

6、 投资分析

6.1、 柯力传感

柯力传感成立于 1995 年，是智能传感器行业领军企业，主要研制、生产和销售 应变式传感器、仪表等元器件，以及不同工业物联网系统及多场景应用解决方案。 公司从力学起步融合多物理技术发展多品种传感，展开多维度产业布局和经 营。目前公司已是全球大型钢制传感器制造企业和工业物联网应用拓展引领 者之一。

柯力传感器产品生态丰富，其销售网络及物流、服务体系遍布全球，助力产品销 售。公司主导产品应力传感器可分为钢制传感器和铝制传感器，广泛应用于冶金、 公路计费、工程机械、自动化设备、畜牧业、化工、 港口设备、检测设备、纺 织机械、控制设备、物流设备等行业。 公司积极把握人形机器人的市场机遇，加快多维力传感器研发试制。柯力传感在 目前已有的微型、扭矩、多维力等高端力学传感器品类基础上，加快自主研发， 积极与各大机器人厂商合作，已进行了多款扭矩传感器、多维力传感器等产品的 送样和试制。截至 2023 年 6 月底，已储备了若干个技术壁垒高、市场前景广的 机器人传感器种子项目。

6.2、 汉威科技

汉威科技是国内知名的气体传感器及仪表制造商和物联网解决方案提供商。公司 成立于 1998 年，主要以传感器为核心，紧密结合传感技术、智能仪表技术、数 据采集技术、地理信息和云计算等物联网技术，形成了系统解决方案“传感器+ 监测终端+数据采集+空间信息技术+云应用+AI”，在所涉及的产业领域中形成 了相对领先的优势。公司集传感器的研发、生产、销售为一体，掌握厚膜、薄膜、 MEMS、陶瓷等核心工艺，并提供气体、压力、流量、温度、湿度、光电、加速 度等多种产品。

公司不断拓展传感器产品矩阵。公司作为国内传感器龙头，在气体传感器领域引 领行业技术、产业发展，并拓展到柔性传感，压力、流量传感，红外光电子芯片 等新领域。公司传感器重点围绕压力、光电、MEMS 多门类高端传感器，传感 器上游晶圆制造以及封测产线等领域发力，重点布局高附加值领域。 公司开拓柔性传感器新赛道。公司的控股子公司苏州能斯达积极扩展柔性微纳传 感器应用场景，优化了“柔性感知技术+采集系统+人机交互”的解决方案，建 立了稳定的纳米敏感材料体系，掌握了四大核心技术和七大产品系列，发展了具 备自主知识产权的多品种、多量程的柔性微纳传感器以及阵列的核心设计能力。 公司技术水平及产业化程度国内领先，有望实现国产化完全替代，在消费电子、 健康医疗、IOT 等战略新兴产业拓展更多应用。目前，柔性微纳传感器已在智能 机器人领域有明确的应用。

6.3、 申昊科技

申昊科技创立于 2002 年，公司通过充分利用多传感器融合、人工智能、机器人 及大数据分析等技术，为工业设备安全运行及智能化运维提供综合解决方案。

传感器在公司主要产品中扮演重要角色。主要产品的形态分为智能机器人和智能 监测检测及控制设备，智能机器人的硬件系统以运动控制系统、关键器件及先进 传感器为核心。智能监测检测及控制设备则通过各类传感器获取工业设备运行状 况、运行质量的相关信息，以动态跟踪各种劣化过程的发展状况，提前预判，及 时维修。 申昊科技的产品覆盖电力电网、智慧交通、油气化工等行业，以智能机器人为主， 专注于电力电网、轨道交通领域的应用。智能机器人主要包含室外轮式巡检机器 人、室内轮式巡检机器人、开关室操作机器人、室内挂轨巡检机器人、极寒适应 型变电站巡检机器人、输电线路巡检/除冰机器人、轨交线路巡检机器人、列车 车底检测机器人、双轨式钢轨超声波探伤仪、配网工程管控监理机器人、无人机等。公司产品已突破了极寒环境、高空、强电磁场及水下等恶劣环境作业的约束， 将功能从巡检拓展至带电作业。

申昊科技正在向上游传感器方向进行布局，以帮助公司做出差异化、有竞争力的 产品，满足下游客户需求，响应机器人从巡检到操作的转变趋势。公司计划利用 在传感器领域一定的技术积累实现向上游发展的目标，目前公司的电子皮肤传感 器产品已处于小批量试用阶段。

6.4、 芯动联科

芯动联科创立于 2006 年，是国内较早从事高性能 MEMS 惯性传感器研发的芯片 设计公司，掌握高性能 MEMS 惯性传感器核心技术，是目前少数可以实现高性 能 MEMS 惯性传感器稳定量产的企业。公司拥有多年 MEMS 惯性传感器芯片设 计、MEMS 工艺方案开发、封装与测试等主要环节的行业经验，于 2015 年研制 出第一代 MEMS 陀螺仪，2019 年实现第三代量产，以此为基础，发展出如今的 主营业务：高性能硅基 MEMS 惯性传感器的研发、测试与销售。

公司主要产品可应用于 IMU 等场景。几款高性能 X 轴 MEMS 加速度传感器和 Z 轴 MEMS 陀螺仪可应用于惯性测量单元（IMU）、航姿和航向参考系统（AHRS）、 平台稳定系统和工业机器人领域。高精度硅谐振压力传感器应用于气象监测、压 力仪表和大气数据计算机。 芯动联科在自主研发和技术方面存在显著优势。公司在 MEMS 惯性传感器芯片 设计、MEMS 工艺方案开发、封装与测试标定等主要环节拥有自主知识产权的核 心技术。其高性能 MEMS 惯性传感器具有小型化、高集成、低成本的优势，核 心性能指标达到国际先进水平。此外，为充分发挥 MEMS 芯片的性能，公司自 主研发了拥有完整、成熟算法的配套 ASIC 芯片，可以根据不同客户的需求和产 品应用场合，灵活、快速地调整 ASIC 模块的各项参数以获得最优的整体性能。

6.5、 华依科技

华依科技成立于 1998 年，是国内汽车测试行业龙头和领先的智驾感知定位解决 方案提供商。公司围绕汽车电动智能化转型升级，提供智驾核心产品、研发测试 服务及品质保障高端装备，主要业务包括动力总成测试服务、高精度惯导和动力 总成智能测试设备。

华依科技专注于高精度导航定位产品研发，为自动驾驶、辅助驾驶、精准农业、 智能物流、安防巡检、旅游观光车、清扫环保等提供高精度位置、姿态信息，致 力于引领智能驾驶定位技术的变革。 公司产品特征优势显著：（1）战术级 IMU；（2）符合 ISO26262 汽车功能安 全的要求；（3）多传感器融合定位满足复杂场景定位需求（4）支持 RTK、 PPP-RTK，满足无网络场景高精度定位需求；（5）具有 IP67 防护等级。以 IMU3000 高精度惯性测量单元产品为例，该产品具有有分系列化、成本可控、超高一致性、高精度、小型化、高抗震等特点，广泛应用于高速路、地库、高架 桥、隧道、城市街道、港口等场景。

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